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InSb焦平面探测器背面钝化的研究
对N型(111)面的InSb衬底采用两种方法进行钝化处理;一种是直接溅射ZnS,另一种是先用(NH4)2S化学硫化,然后溅射ZnS。C-V测试和器件性能......
期刊
InSb焦平面探测器
ZNS
(NH4)2S
硫化
InSb focal plane detector
ZnS
(NH4) 2S
sulphidiza
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